|
|
 |
 |
13:00〜
13:30 |
反射屈折光学系を採用した投影露光装置 |
(株)オーク製作所
露光機器事業部設計グループ 光学設計リーダー
李徳/機械1主事補 山賀勝 |
| 日本語 |
低色収差・高解像度・高照度を実現する反射屈折光学系を開発。縦型投影露光装置にまとめ、全面均一な回路形成・高整合精度・高生産性を達成。その結果を紹介します。 |
| 聴講申込先 |
TEL:0424-87-0161 FAX:0424-81-0508 pwb-sale@orc.co.jp(栗山奈実治(小泉嘉男) |
|
 |
13:40〜
14:10 |
プリント配線板用の2倍拡大投影式露光装置 |
| (株)アドテックエンジニアリング
技術本部本部 田中巧 |
| 日本語 |
ADTECの2倍拡大投影式露光機の解像度、アライメント精度ならびに重ね合わせ精度についてその優れた性能を実データを交えて紹介する。 |
| 聴講申込先 |
TEL:03-3433-4466(代) FAX:03-3433-4330
sales@adtec-eng.co.jp(営業本部) |
|
 |
14:20〜
14:50 |
ダイレクト・イメージングの新たなる展開 |
ペンタックス(株)
ビジネスシステム事業部DIプロジェクト・マネージャ
須藤賢一 |
| 日本語 |
製品開発や製造プロセスにおけるダイレクト・イメージング手法への期待が益々高まる中、当社では、新たな用途向けのダイレクト・イメージャを開発しました。その概要をご案内致します。
|
| 聴講申込先 |
TEL:03-3960-5152 FAX:03-3960-1920
info.bss@aoc.pentax.co.jp(ビジネスシステム事業部営業部) |
|
 |
15:00〜
15:30 |
MIE社の自動化イメージング、レジストレーションシステムについて |
Multiline
International Europe L. P.
(有)カレンテック代表取締役
平川董 |
| 日本語 |
多層化、ファイン化、小径化の要求に対応するMIEの自動化イメージング、レジストレーションシステムの新技術と開発について述べる。 |
| 聴講申込先 |
TEL:03-3728-9298 FAX:03-3728-9298
currentec.hirakawa@nifty.ne.jp((有)カレンテック代表取締役 平川董)
http://www.currentec.co.jp |
|
 |
15:40〜
16:10 |
MIE社の自動化イメージング、レジストレーションシステムについて |
| Multiline
International Europe L. P. President Paul Waldner |
| 英語 |
多層化、ファイン化、小径化の要求に対応するMIEの自動化イメージング、レジストレーションシステムの新技術と開発について述べる。 |
| 聴講申込先 |
TEL:03-3728-9298 FAX:03-3728-929
currentec.hirakawa@nifty.ne.jp((有)カレンテック代表取締役 平川董)
http://www.currentec.co.jp |
|
 |